技术参数:SS10C入射光斑:10mm跟随误差时间:170us打标速度:1.5 m/s定位速度:7.0 m/s重复定位精度:<22urad运行8小时以上漂移:<0.6 mrad非线性:<5mrad光学扫描角度:±0.35rad供电需求:±15V DC2A接口:数字 XY2-100 模拟±5V工作温度:25°C±10°c(All angles are in optical degrees) *F-theta f=160mm*